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低碳氟光阻添加劑

隨著半導體製程邁向2奈米以下節點，含氟添加劑在提升光阻解析度上扮演關鍵角色。然而，傳統含氟添加劑多為全氟烷基化合物(PFAS)，因其不易分解而面臨嚴格的國際法規挑戰。本文探討低碳氟光阻添加劑的開發趨勢，聚焦於界面活性劑。在界面活性劑方面，透過將多條短碳氟鏈合成於單一分子的結構設計，可達到與傳統長鏈PFAS相當的低表面張力，從而確保塗佈均勻性。這些創新不僅維持了微影製程所需的性能... [詳細]

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