Class 100 高精準薄膜塗佈技術

■ 技術特色

▶ 無塵環境─薄膜製造的 100 等級無塵室環境

▶ 塗佈精度─可達乾厚 5um 均勻度≦ 3%

▶ 線上監控裝置─線上厚度測量儀 ETA、線上反射、透過缺陷檢查機 AOI

 

■ 技術規格

 

■ 產業應用

利用AI 系統可即時反饋的優點透過大數據資料庫，結合AI 分析演算法，提供塗料、成品缺陷檢測分布，厚度分布、溶劑殘餘量等數據，可縮短開發時間30%，減少測試材料使用率30%。

 

■ AI 系統應用卷對卷塗佈量產

 

 

工研院材化所 L400 光電材料與薄膜試製研究室