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東北大學開發金屬鈉蒸氣低溫燒結技術,使半導體陶瓷製程大幅降溫
日本東北大學成功開發出一項利用金屬鈉蒸氣進行半導體陶瓷低溫燒結的新技術。此方法可在700℃~800℃的低溫條件下,製作出相對密度達96%以上的高緻密陶瓷材料。東北大學利用主要陶瓷電子材料之一的鈦酸鋇(BaTiO₃),將其粉末成形體與少量金屬鈉一同封裝於不鏽鋼容器中進行加熱處理。結果發現,相較於既往須在約1,300℃高溫下燒結的方法,新技術可在顯著較低的恆溫條件之下,讓材料在電阻率降低的同時實現高度緻密化燒結...
[詳細]
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