在2英吋晶圓上製作「單層原子」p型BCN
東京大學參與的國際研究團隊，首次成功合成可以發揮p型二維半導體功能的硼碳氮化物（BCN），並且是2吋晶圓規模的單層BCN。厚度縮減至數個原子規模的二維半導體，可望應用於次世代微型電晶體與三維整合。目前n型二維半導體的研究已有進展，但要實現互補式電路，就需要p型二維半導體，這方面發展仍然受限。因此，研究團隊在單原子層BCN上，活用透過原子取代改變矽半導體電子結構的方法，開發出可以在銅（111）晶面上進行單層BCN磊晶成長的低壓化學氣相沉積法... [詳細]