PCB溼製程槽液微粒子線上監測系統
隨著先進封裝(CoWoS、FOPLP)、ABF載板（HPC、B5G產品）溼製程精度提升，溼製程槽液中的微粒子若附著於線路上，將造成結瘤或短路等不良品。雖然國外大廠PMS/RION/Lighthouse研發了純水系統監測用的微粒子計數器(Liquid-borne Particle Counter)，但鮮少用於線上溼製程槽液使用。主因是感測器對槽液成份與顏色有諸多限制，且不易於製程設備整合，大多只能用在實驗室檢測或後端清洗製程監測。因此，工研院開發PCB溼製程槽液微粒子線上監測系統... [詳細]