MCL技術
會員中心
工業材料雜誌
材料最前線
電子報
進階

每日焦點

創新低溫N₂O觸媒處理技術

隨著製程技術演進，半導體產業逐步擴大採用N₂O作為薄膜製程氣體，然而殘餘之N₂O在多數廠務端仍面臨去除效率不佳之挑戰。另半導體製程尾氣常伴隨多種共存氣體與副產物，使尾氣處理難以兼顧高去除效能與低能耗，因此目前多採高溫處理系統。為達成高效與低能耗之目標，本文以實務導入為導向，提出「分流＋分段模組」之創新架構，用於N₂O製程尾氣處理；除可將N₂O有效轉化為N₂與O₂，亦可同步去除其他尾氣成分（如NF₃、HF），提供一套系統性、... [詳細]

文章推薦

亮點技術

專家現場

NaPoGlass-吸放自如的高效能金屬離子捕捉材

熱門看板

材料主題館

淨零永續
環保 綠建築
更多
循環經濟
生質 循環經濟
更多
能源/儲能
鋰離子電池 車用電池 固態電池
更多

半導體
單晶/複晶矽 半導體 IC
更多
電子構裝
電子構裝 電路板
更多
光電/顯示器
LED OLED
更多

化學/化工
化學品 觸媒 塑膠/高分子
更多
奈米/微細技術
微機電 MEMS 奈米管 奈米點(量子...
更多
金屬/熱電材料
熱電 3C 散熱元件 輕金屬
更多

水處理科技
水科技
更多
智慧生活
感測器 穿載式裝置 智慧生活
更多
材料與技術
無線通訊零組件 防蝕技術 生醫
更多