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電子級氣體與特用化學品的高純度檢測趨勢

在先進製程下，半導體材料重要關鍵在於「超純材料」，而超純材料主要集中於電子級氣體和濕式特用化學品等。在半導體材料供應鏈高速擴張，產能擴張的同時，超純材料的鑑別能力也需及時追上，否則將失去搶先市場的競爭力。高純度檢測技術包含：①超低有機/無機雜質的偵測、②受關注污染物分析（微粒子和同位素比例等）。掌握高純度檢測技術，轉化為競爭優勢，進而克服高純度材料挑戰，奠定產業技術領先地位。[檢測趨勢轉化為競爭優勢]在先進製程的競賽中... [詳細]

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