跨單元半批次製程之動態多物理場模型與代理模型即時預測技術
化工半批次製程因具備時間變數與反應-分離高度耦合特性，長期面臨品質變數取樣稀疏與動態模擬極易發散的核心挑戰。傳統商用模擬軟體於半批次高非線性動態系統上常遇數值收斂困難，使純資料驅動模型與軟感測器技術在歷史數據涵蓋有限時難以發揮作用。本文整理近期相關研究做法，並提出一適用於跨單元半批次製程的智慧化技術架構，其核心流程包含三大階段：建構多物理場動態模型作為虛擬工廠、利用虛擬實驗生成完整訓練資料，以及訓練代理模型實現線上即時品質預測... [詳細]