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TGV複合修補材料技術

玻璃穿孔(TGV)通常採用雷射鑽孔、離子蝕刻或感光玻璃圖案化等方法形成通孔,再以濺鍍或電鍍銅的方式進行TGV金屬化以提高導電性。然而, TGV在雷射鑽孔與濕蝕刻製程可能因應力產生微裂痕、缺陷或通孔側壁粗糙,導致增層時電阻增加、晶片訊號完整性下降與產品可靠度不佳的問題。因此,開發用於TGV的複合材料需專注於在玻璃鑽孔後的可靠度與高性能... [詳細]

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