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金屬陽極氧化處理技術與半導體設備零件應用

金屬表面陽極氧化層處理可以提升金屬材料的耐用性、耐腐蝕性和美觀性，廣泛應用於半導體、汽車、航太、建築及生醫等領域。本文介紹常見金屬如鋁合金、鈦合金及不鏽鋼材料的陽極氧化處理技術與機制；同時介紹鋁合金陽極氧化處理，可以經由不同製程參數控制，應用在不同半導體製程設備中，例如在電漿製程設備的應用。工研院材料與化工研究所在鋁合金陽極氧化處理技術開發上，具備控制鍍層厚度與孔徑大小的能量，可應用在光學、蝕刻遮罩、感測器、散熱、金屬奈米線... [詳細]

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