金屬陽極氧化處理技術與半導體設備零件應用

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金屬表面陽極氧化層處理可以提升金屬材料的耐用性、耐腐蝕性和美觀性,廣泛應用於半導體、汽車、航太、建築及生醫等領域。本文介紹常見金屬如鋁合金、鈦合金及不鏽鋼材料的陽極氧化處理技術與機制

 無法正常瀏覽內容,請點選此線上閱讀         2025. 9. 3 出刊    取消訂閱
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工業材料雜誌
  金屬陽極氧化處理技術與半導體設備零件應用

金屬表面陽極氧化層處理可以提升金屬材料的耐用性、耐腐蝕性和美觀性,廣泛應用於半導體、汽車、航太、建築及生醫等領域。本文介紹常見金屬如鋁合金、鈦合金及不鏽鋼材料的陽極氧化處理技術與機制;同時介紹鋁合金陽極氧化處理,可以經由不同製程參數控制,應用在不同半導體製程設備中,例如在電漿製程設備的應用。無論陽極氧化處理方式(恆電位和恆電流)為何,電解液中氟離子(F-)的存在都會促進氧化物生長過程中自取向奈米管陣列的形成。現有關於鐵陽極氧化處理中氧化鐵形成機制的文獻相當稀少,且多孔陽極氧化膜的生長機制仍有爭議,目前以電場輔助溶解模型(Field-assisted Dissolution Model)是最常被引用的 ---《本文節錄自「工業材料雜誌」464期,更多資料請點選 MORE 瀏覽》
 
 
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