半導體用高解析光阻劑

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全球光阻市場2022年市值達37.6億美元,預估至2028年將成長至50.1億美元

 無法正常瀏覽內容,請點選此線上閱讀         2025. 5. 14 出刊   取消訂閱
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工業材料雜誌
  半導體用高解析光阻劑 

隨著積體電路微縮化的進展,應用產品朝向體積小、速度快、效能高的趨勢發展。而積體電路元件尺寸縮小的關鍵技術在於光學微影,在光微影成像系統中,半導體光阻劑為相當重要的關鍵材料之一。根據GII市場調查報告,2022年全球光阻市場價值為37.6億美元,預估2028年將成長至50.1億美元,到2028年CAGR為5.02%。為了提高光阻劑的解析度、附著力及穩定性,業界正積極開發新型光阻劑配方,高解析光阻劑與傳統的光阻劑一樣,於解析度、線粗糙度和靈敏度存在Trade-off效應,如何同時改進與優化這三項關鍵性能的產品,具極高
---《本文節錄自「工業材料雜誌」461期,更多資料請點選 MORE 瀏覽》
 
 
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