微影製程中使用抗反射層(ARC)，透過光學干涉相消或吸光設計，有效減少曝光反射、提升光阻圖案解析

無法正常瀏覽內容，請點選此線上閱讀         2025. 5. 28 出刊   取消訂閱   【工業材料雜誌】半導體用抗反射層材料 【材料News】東京科學大學利用液態金屬從海水中有效率分離淡水與金屬 【研討會】健康照護敷料開發工程師認證班(第2梯)       半導體用抗反射層材料 微影製程中使用抗反射層(ARC)，透過光學干涉相消或吸光設計，有效減少曝光反射、提升光阻圖案解析。近年隨著新興科技發展，半導體晶片需求大幅增加，根據Valuates Reports資料估計，2030年全球抗反射塗層市場規模將達4.18億美元。為推動國內關鍵半導體材料開發，本文介紹半導體微影應用的抗反射材料種類、市場資訊，並針對有機底部抗反射塗層(BARC)材料設計與相關專利進行介紹。此外，為提升國內半導體關鍵材料自主率，工研院材料與化工研究所也建立半導體DUV光阻用BARC材料驗證平台，以加速國內BARC材料開發導入 ---《本文節錄自「工業材料雜誌」461期，更多資料請點選 MORE 瀏覽》         東京科學大學利用液態金屬從海水中有效率分離淡水與金屬 PLAS-TECH開發出含有CNF之高性能PVC低成本製造技術 東洋紡加速佈局天然由來化妝品原料市場 AGC拓展PV蓋板玻璃之水平回收技術實用化 AIST推出以「普魯士藍」為基材之氨吸附材料     先進陶瓷薄膜與應用研究室 先進陶瓷與晶體材料技術及應用研究室 & TAF認證(4035)檢測實驗室 離子篩分水裂解產酸鹼系統 & 微量全/多氟烷基化合物(PFASs)處理技術 生物脫硫技術 & 高溫耐氨氮厭氧共醱酵技術 水與廢水處理廠智慧化模組與技術       產業AI三日種子 (免費！) ESG低碳化課程  (免費！) 2025 台灣腐蝕與防護大會 健康照護敷料開發工程師認證班(第2梯) 2025量測技術研討會—從奈米到微米：粒徑與形態分析的前沿技術與未來趨勢  (免費！)    114 年綠色功能性化學品產業推動計畫～製造業AI化轉型宣導會   (免費！)  低軌衛星規格與一般電子設備的區別 日本5G毫米波的高頻基板，低介電設計與開發實例解析 日本低介電環氧樹脂、載板黏著薄膜、FPC高絕緣可靠性 日本TGV玻璃鑽孔3μm直徑 (FOPLP先進關鍵製程) 日本如何防止Si晶圓表面污染源？ 日本專家揭開材料表面秘密：接觸角與濕潤性對科技應用的關鍵影響 電路板高頻化所需PI、LCP、聚烯烴 TGV與Glass Core之玻璃專題系列   電子報內容均屬於「材料世界網」所有，禁止轉載或節錄。 若您對電子報有任何意見，歡迎指教。材料世界網首頁 │會員中心 │聯絡我們│廣告業務 │訂閱│推薦訂閱 │取消訂閱