提供半導體原物料、結構陶瓷與薄膜材料量測技術，從原物料到後端產品的材料特性分析、缺陷檢測與元件失效模式，協助半導體關鍵物料、陶瓷零組件、化合物半導體磊晶廠、封測廠等的新產品研發。
半導體物料分析設備
■ 應用
► 高純物料元素分析
► 材料表面改質技術
► 再生料源循環利用
► 化合物半導體材料合成與驗證技術
陶瓷零組件分析設備
■ 應用
► 半導體設備陶瓷零組件熔點與結晶點
► 陶瓷基板特性檢測
► 陶瓷散熱 / 發熱材分析
► 陶瓷材料強度檢測
工研院材化所 X500 先進陶瓷薄膜與應用研究室