薄膜製程與基板的整合應用

 

刊登日期:2004/2/20
  • 字級

市場趨勢的微小化及整合化帶動薄膜製程與基板相互整合的技術發展。結合基板表面奈米複合結構操控技術、三維奈米結構薄膜技術、二維奈米量子井結構薄膜技術,構成一種新的薄膜與基板的整合技術佈局,它可以廣泛的運用在感測元件、整合型被動元件、通訊資訊的高頻主動元件,進而成為一智權創新的積體電路製造技術。
分享