薄膜體聲波濾波器剖析與測試

 

刊登日期:2002/4/5
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在行動通訊中,濾波器為手機內部的關鍵元件之一,為了達到元件微小化與SOC 的目的,薄膜體聲波共振子(FBAR)被用來取代現今所使用的陶瓷與表面聲波元件以設計射頻(RF)、中頻(IF)端的濾波器,其具有體積更小、較佳的阻絕率、插入損失與IC 製程整合的特性,以及針對FBAR 晶圓級量測的方法,與其功率承受的能力,也是重要議題。本文將對於FBAR 的原理及利用FBAR 設計濾波器或雙工器的方法,以及對FBAR 晶圓級測試,及其功率承受的能力,作一概略性的介紹。
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