應用於電路系統之機械共振子之發展

 

刊登日期:2002/4/5
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共振常是結構設計人員所亟需避免的現象,但也因為連續體(Continuum)的頻率響應特性及材料特性,使得應用於電路系統的機械共振子有電子式共振子所不可能達到的高品質因子數(Quality Factor, Q),隨著高頻通訊時代的來臨,高操作頻率及高品質因子的共振元件需求日廣。許多種類應用微細加工技術所製造的微機械共振子已成功展示其性能,其中部份已有應用商品問世。本文除了對機械共振子有一概略介紹,並對目前之現有商用技術作一分析。
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