聚焦離子束斷層掃描分析技術介紹

 

刊登日期:2010/1/5
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聚焦離子束斷層掃描分析是一種應用於三維尺度解析形貌、微結構與化學組成等材料特徵的技術,由斷層影像收集與三維模型建立兩個主要步驟組成。本文針對此技術做一完整介紹,首先說明斷層影像收集的實驗細節,包含前置處理程序、不同系統中的斷層掃描作業流程及各類型成像訊號所對應之物理意義;接著,闡述三維模型建立所需的尺寸校正、影像校準與重建程序;最後,討論一些分析實例。


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