“次奈米級”電子能量損失光譜分析技術之開發

 

刊登日期:2008/2/5
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本文主要是展現過去一年工研院材化所微結構與特性分析研究室TEM團隊在次奈米級電子能量損失光譜分析技術之開發成果。在建立次奈米級電子能量損失光譜分析技術方面:本文以工研院電光所MIM多層膜為主要研究載具,藉由超薄 TEM樣品製備技術建立與能量漂移問題、試片漂移問題的克服,建立次奈米級電子能量損失光譜分析技術。次奈米級電子能量損失光譜分析技術對超薄薄膜、顯示器材料與儲能元件之次奈米尺度二維元素分布分析、成分分析將扮演相當重要之角色。


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