功能性掃描探針顯微鏡(SPM)技術簡介

 

刊登日期:2003/1/5
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掃描探針顯微鏡具有原子與奈米級之分析能力,其操作容易且簡便,操作環境可以在大氣、真空、液相等條件下進行分析。掃描穿隧顯微鏡是利用探針與樣品間電子穿隧效應來得影像,樣品必須為導體,而原子力顯微鏡則利用探針和樣品間原子作用力的關係,得知樣品表面的幾何形狀,樣品可為導體或非導體。目前掃描探針顯微鏡又發展出許多分析功能,可進行樣品之電性、磁性、奈米微影加工及活性生物分子性質分析等,其功能已經遠遠超過以往顯微鏡技術,因此掃描探針顯微技術已經是新世代科學中一種不可缺少之重要分析儀器。
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