FE-SEM/CL/EBSD 分析技術簡介

 

刊登日期:2003/9/5
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陰極發光(Cathodoluminescence ,簡稱CL)及電子背向散射繞射(Electron Back-Scattered Diffraction,簡稱EBSD)為兩種附加於掃描式電子顯微鏡(SEM)上的分析技術,配合高解析度的場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)之開發可更充份發揮這兩種分析技術的功能。在本文中,將針對CL 及EBSD 兩種分析技術的原理及主要應用作介紹。
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