薄膜積體電子元件在平坦化--陶瓷基板之應用技術

 

刊登日期:2002/8/5
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本文將介紹薄膜積體電子元件在平坦化陶瓷基板的應用,包括整合型電子被動元件、構裝用晶片載板以及大型積體電路之應用。在電子被動元件的市場技術趨勢裡,元件尺寸由0402 至0201 再往更高元件積體密度的技術前進,整合型被動元件技術將是未來主力,利用平坦化陶瓷基板配合幾微米至幾十微米的薄膜元件製程,將具有元件製造成本及元件積體密度的最佳組合考量。在構裝市場技術需求中,高頻元件、高功率元件、光電元件的製造上,平坦化陶瓷基板可以提供高功率元件、光電元件良好散熱條件,同時可以將阻抗匹配用的電路成長在平坦化陶瓷基板上,供高頻積體電路晶片利用。在積體電路製造業主流技術中,為保有較低成本優勢及較高性能的競爭地位,元件尺寸的製程能力由0.25 微米推至0.13 微米,同時建廠投資也由300 億台幣的八吋晶圓廠提高至500 至1000 億台幣的十二吋晶圓廠,若利用平坦化陶瓷基板、陶瓷薄膜系列材料,以及微米元件尺寸的大型積體電路製程組合,將有機會再創造出低資金門檻,並且無智權障礙的新積體電路製造業。
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