在現代高科技工業中，低壓電漿技術在先進材料製程之應用，已占有相當重要之地位。本文介紹微波電漿原理及目前工業發展中逐漸為主流的平面型可調式表面波共振腔電漿激發結構，利用大面積低溫微波電漿搭配反應氣體如氫氣，可完成工業化半導體產業中之蝕刻清潔、太陽能製程之邊緣蝕刻製程導入，且效果良好。另外，微波氫氣電漿也由工研院成功驗證，其對太陽電池低溫鈍化具有良好增益效果，可提高太陽電池效率，是另一可期待之微波電漿技術應用。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 《工業材料雜誌》八月號「高階半導體鍍膜材料」與「水中有價資源回... 《工業材料雜誌》2024年十一月號推出「光電元件材料溶液製程技術」... TORAY成功開發多重量子井結構半導體奈米線 易溶解於有機溶劑之撓曲奈米石墨烯 兼具超高性能與低成本特性之太陽電池與功率半導體新貼合技術(下) 熱門閱讀 功率半導體元件與散熱技術 寬能隙功率半導體封裝之結構設計與互連技術挑戰 功率半導體之高導熱陶瓷基板材料技術與應用發展 廢氫氟酸轉製冰晶石有價資源化技術 AI世代之次世代功率半導體產業發展 相關廠商 新加坡商英彼克有限公司台灣分公司 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司