在現代高科技工業中，低壓電漿技術在先進材料製程之應用，已占有相當重要之地位。本文介紹微波電漿原理及目前工業發展中逐漸為主流的平面型可調式表面波共振腔電漿激發結構，利用大面積低溫微波電漿搭配反應氣體如氫氣，可完成工業化半導體產業中之蝕刻清潔、太陽能製程之邊緣蝕刻製程導入，且效果良好。另外，微波氫氣電漿也由工研院成功驗證，其對太陽電池低溫鈍化具有良好增益效果，可提高太陽電池效率，是另一可期待之微波電漿技術應用。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 TORAY成功開發多重量子井結構半導體奈米線 易溶解於有機溶劑之撓曲奈米石墨烯 兼具超高性能與低成本特性之太陽電池與功率半導體新貼合技術(下) 兼具超高性能與低成本特性之太陽電池與功率半導體新貼合技術(上) 可連續製造有機半導體元件板狀奈米粒子新技術 熱門閱讀 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 固態鋰離子電池技術 聚焦二氧化碳再利用，推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 方全有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 誠企企業股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司