雷射於三維晶粒堆疊技術之應用

 

刊登日期:2007/10/5
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元件中原本二維的金屬連接線如果改成較短的三維垂直連接架構設計,將可以大幅地增加元件的效能。三維晶粒的堆疊方式,亦讓不同功能的元件能垂直連接形成一特定功用之產品,並具有高效能、多功與小尺寸的優勢。關鍵技術之一矽垂直導通孔的製程方面,並非使用一般常用的乾蝕刻方式,而是利用雷射鑽孔來達成。對於低腳數與較大間距的元件而言,使用雷射形成矽垂直導通孔具有低製造成本之優勢。

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