旭化成開發出新型感光性乾膜,適用於先進半導體封裝且可展現極高解析度

 

刊登日期:2025/6/24
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日本旭化成開發了一款適用於AI伺服器等先進半導體封裝製程之新型感光性乾膜。透過全新的材料設計,將可實現面板級封裝(Panel Level Packaging; PLP)的微細圖案成形。除了既有的步進式曝光機(Stepper)之外,新開發的乾膜也支援雷射直接成像(Laser Direct Imaging; LDI)設備,在各種曝光方式下都能展現極高的解析度。

旭化成此次開發的新感光性乾膜為「SUNFORT TA系列」。由於先進封裝技術正逐步由晶圓級封裝(WLP)過渡至效率更高的面板級封裝,相較於液態光阻,乾膜在使用便利性上更具優勢,因此業界開始將乾膜列入應用評估。然而,過去的乾膜無法達到先進封裝所需要的解析度,故未能利用於再配線層(RDL)的製作。

「SUNFORT TA系列」在針對RDL製程所需的4 μm間距設計中,能夠在LDI曝光下實現1.0 μm的光阻寬度。所形成的微細光阻圖案可透過半加成法(SAP)進行電鍍圖案製作,再經由剝離光阻,即可形成寬度為3 μm的電鍍圖案。此外,「SUNFORT TA系列」亦可因應既有的步進式曝光方式,為日益多樣化的微細配線製程提供了新的應用選項。

感光性乾膜廣泛應用於印刷基板與封裝基板,旭化成在對於技術要求極高的封裝基板領域擁有高市佔率。由於預期未來面板級封裝市場將持續擴大,旭化成也將持續引領先進技術市場,積極擴大市場佈局。


資料來源: https://www.asahi-kasei.com/jp/news/2025/ze250526.html
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