日本Resonac開發出多項先進封裝用新材料。該公司成功建立一項在乾膜上設置阻隔層(Barrier layer)的技術,使其無須使用妨礙高解析度的PET保護膜即可進行曝光,可望因應須高度微細化之面板級封裝(PLP)的市場需求。此外,Resonac亦開發出適用於銅柱(Copper Pillar)的厚膜乾膜,採用小液滴粒徑的高壓霧狀顯影(Mist Developing)技術,讓顯影液能進入高深寬比(High Aspect Ratio)結構的柱體內部。Resonac並推出適用於PLP的封裝膜材料以及利用於混合接合(Hybrid Bonding)的有機膜,積極提供跨領域解決方案。
半導體後段材料大廠Resonac長年提供多樣材料產品,針對次世代封裝的翹曲與熱管理課題提供整合式解決方案。近期,Resonac與國內外共27家材料、設備、設計企業共同成立次世代半導體封裝聯盟「JOINT3」,致力於推動面板級有機中介層(Interposer)製造相關之材料與設備的技術開發。
此次Resonac推出了多款PLP領域的新產品,其中一項為膜厚6 μm之附阻隔層的乾膜。一般乾膜須與PET保護膜併用,但隨著微細化不斷推進,近年來衍生PET中含有填料等雜質影響曝光精度的問題。然而不使用PET膜容易沾染異物,且感光成分會與氧氣反應導致感度下降。
Resonac透過設置阻隔層,成功實現無PET保護膜的乾膜,達成線寬與線距2/2 μm以下的高解析曝光。此阻隔層為水溶性,曝光後易於清洗,可望應用於具有微細化需求的面板級有機中介層。
此外,Resonac也開發出厚度達240 μm的厚膜乾膜,可應用於高深寬比銅柱製程。除了樹脂設計的最佳化之外,顯影設備則採用了新東工業的高壓霧狀顯影裝置。既有噴淋式顯影(Shower Development)的液滴尺寸較大,不易進入高深寬比、孔徑狹小的柱體內部;而高壓小液滴霧狀顯影則能確實進行高深寬比之柱體結構的顯影。
另一方面,透過在薄膜與封裝材料領域的專長,Resonac亦開發出PLP用封裝膜。此產品可透過層壓機(Laminator)簡易封裝,並且抑制翹曲。Resonac計畫薄膜封裝採用膜狀產品、厚膜封裝則提供顆粒狀(Granule)材料,藉此形成差異化市場佈局。此外,Resonac也提供後段製程用化學機械研磨(CMP)漿料,為封裝材料的研磨提供整合解決方案。
在晶圓級方面,Resonac開發出可替代無機膜的有機膜,應用於混合接合用途。該材料為醯亞胺系聚合物,具高耐熱性、低析氣性以及優異的研磨性。相較之下,無機膜若夾雜異物容易導致接合不良,而柔軟的有機膜能包覆異物,提升接合可靠性。雖然此領域已有Toray、三井化學等競爭對手,但Resonac強調本身同時具備CMP漿料產品線的優勢,期藉此獲得採用。