三井化學開發出多項半導體後段製程相關材料

 

刊登日期:2024/1/17
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日本三井化學開發出多項可應用於半導體後段製程之材料,包括封裝製程使用的無氟離型膜、適用於複合式接合之低溫接合材料、晶圓承載系統(WSS)用途之聚醯亞胺(PI)清漆等材料。

新開發的無氟離型膜「MintRow」係於壓縮膜封過程中在封裝材料與模具之間使用的聚烯烴類離型膜,具有與氟類產品同等的離型性,並擁有耐熱性、抗靜電性等特性,可望做為不含全氟/多氟烷基物質(PFAS Free)之材料予以應用。

另一項適用於晶片堆疊晶圓(Chip on Wafer; CoW)」等複合式接合的低溫材料具有可在室溫條件下進行暫時接合的優點,且永久接合亦只需150℃的低溫即可接合晶片與晶圓,不易造成晶片的損壞。此外,三井化學的低溫材料具有因應污染微粒(Particle)的處理能力。開發品具有高柔軟性,嵌入性較高,微粒埋入接合材料中將可抑制孔隙的形成。

另一項PI清漆材料「PIVAR」則為適用於晶圓承載系統的暫時固定材料。一般臨時固定材料由接著層與剝離層的2層結構所組成,但開發品可以只使用1層,且耐熱性超過300℃。載體可利用雷射剝離,以一般溶劑洗淨即可去除暫時固定材料,因此剝離、洗淨時的應力較小。


資料來源: https://chemicaldaily.com/archives/396565
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