新世代場發射穿透式電子顯微鏡應用在工研院奈米檢測研究之概況(下)

 

刊登日期:2004/10/5
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工業技術研究院工業材料研究所於2004 年元月在奈米中心檢測實驗室所建置之JEOL JEM-2100F場發射穿透式電子顯微鏡是新一代最新型之200kV電鏡,為台灣第一部該型電鏡。此電鏡為目前日本電子株式會社所推出之最新型機種,裝配有多項高功能之先進檢測設備。本儀器包含原子解析率(0.19nm)之影像分析能力,配備有OXFORD 公司之X 射線能量散佈分析儀(EDS)、GATAN公司之電子能量損失譜儀(EELS),並附有高角度環狀偵測器(High-Angle AnnularDetector)之掃瞄影像觀測元件(Scanning Image Observation Device)、數位掃瞄影像擷取系統(Digiscan Image quisition System),屬於全方位之分析型高解析電子顯微鏡。本文將介紹這部精密電鏡之各項先進檢測功能,以及在工研院相關計畫之檢測成果。
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