工業技術研究院工業材料研究所於2004 年元月在奈米中心檢測實驗室所建置之JEOL JEM-2100F場發射穿透式電子顯微鏡是新一代最新型之200kV電鏡，為台灣第一部該型電鏡。此電鏡為目前日本電子株式會社所推出之最新型機種，裝配有多項高功能之先進檢測設備。本儀器包含原子解析率(0.19nm)之影像分析能力，配備有OXFORD 公司之X 射線能量散佈分析儀(EDS)、GATAN公司之電子能量損失譜儀(EELS)，並附有高角度環狀偵測器(High-Angle AnnularDetector)之掃瞄影像觀測元件(Scanning Image Observation Device)、數位掃瞄影像擷取系統(Digiscan Image quisition System)，屬於全方位之分析型高解析電子顯微鏡。本文將介紹這部精密電鏡之各項先進檢測功能，以及在工研院相關計畫之檢測成果。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 有機薄膜電晶體微結構分析技術開發 固態核磁共振在有機/ 無機合界面及材料特性研究之應用 先進DBFIB/FETEM 之檢測技術應用在奈米材料、相變化記憶體與顯示器... OES技術於電漿製程監測之應用 掃描探針顯微鏡於軟物質與半導體之應用 熱門閱讀 半導體用抗反射層材料 半導體用光酸材料技術 次世代EUV帶來半導體光阻開發挑戰，日化學企業加速展開新材料佈局 「10分鐘內」超急速充電技術進展有成，全固態電池最受青睞 半導體用高解析光阻劑 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 廣融貿易有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司