有機薄膜電晶體微結構分析技術開發

 

刊登日期:2005/8/20
  • 字級

平面顯示器的發展日益精進,從技術成熟的液晶顯示器(LCD),到受人期待被譽為夢幻顯示器的有機發光顯示器(OLED),都還存在著其自身無法克服的缺點:如本身並非主動發光元件,需要良好的驅動元件提供較低的起始電壓(Vth),以及需要較佳的工作頻率以滿足動態畫面顯示的需求。因此有機薄膜電晶體(OTFT) 在高階可撓式顯示器應用時,便是此驅動元件的關鍵技術,而目前五苯(Pentacene)有機薄膜電晶體為OTFT 中最廣為應用的一種,故五苯有機薄膜結構及介面反應便成為目前熱門之研究課題。本文將介紹製備良好的OTFT 剖面結構,同時利用各種微結構分析技術如AFM 、TFXRD 及AES 等來探討Pentacene薄膜成長與基板介面之關係,進而提供製程時所須的參數調整及條件設定,來達成降低成本及提升高頻工作效率的目標。


分享