電子顯微鏡試片製備技術總論

 

刊登日期:2004/2/5
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電鏡試片製備技術向來是影響電鏡檢測技術最重要的一環。好的電鏡試片製備是整個電鏡檢測成功的關鍵。本文將針對幾種常見之電鏡試片製備技術基本原理與製作過程作簡單之介紹。常見的電鏡技術大致分為幾大項:1.Dimpling、2.粉末、纖維試片製備法、3.離子束製備法、4.超薄切割機TEM試片製備法與5.化學研磨(Electropolishing)等。我們將在文中介紹幾種常用之電鏡試片製備技術:1.傳統離子研磨法、2.粉末、纖維之TEM試片製備法、3.聚焦離子束顯微切割儀電鏡試片製備法、4.超薄切割機(Ultramicrotomy)電鏡試片製備技術、5.楔型研磨技術與泞新世代電子顯微鏡試片製備技術。
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