新世代穿透式電子顯微鏡試片製備技術於記錄媒體藍光雷射光碟片之實務應用

 

刊登日期:2004/2/5
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記錄媒體隨著資訊相關技術的進步,已朝向高密度、高儲存量發展,其中最顯著的莫過於光碟片,在光碟保持尺寸不變而密度提升的相容性考量下,光碟微結構漸趨微小化。穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope; TEM) 是具有高解析能力的分析儀器,對光碟工業結構微小化發展有相當大的助益,然而在光碟發展過程期間,因其材質特殊不易製成試片,而讓TEM 陷入孤掌難鳴的窘境。
本文中,我們將引述一新世代TEM試片製備技術『T-tool Tripod Polisher』,再從實務上,針對藍光雷射HD-DVD 光碟提出TEM 試片製備上的難題及解決之道,從而利用TEM分析技術與對應的光碟試片資料中探求所欲知之訊息。

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