對於無線通信元件而言，利用微機電技術所製作之元件具有某些優良特性可取代或與現有元件競爭，其製程與一般IC製程具有相容性，使其可與一般主動IC晶片整合，將使得通信系統做成單一晶片(SOC)的可能性大增，預期對於通信系統及一般被動元件產業將造成重大之衝擊。此種方式所製作之晶片具有體積小、價格低及性能佳等特性，將可促成如Software Radio等理想早日實現，未來更可能發展出新的系統架構。然而，射頻微機電元件目前卻面對可靠度問題和相對高成本的氣密構裝等挑戰。本文將對目前最新的發展作一簡介及討論。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 氮化鋁壓電薄膜製作及特性化 薄膜體型聲波濾波器及雙工器設計 射頻微機電元件發展現況 微機電技術在射頻應用發展可期 壓電薄膜量測方法簡介 熱門閱讀 從ICSRSM 2023看碳化矽材料領域發展(上) 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 聚焦二氧化碳再利用，推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司