氮化鋁壓電薄膜製作及特性化：材料世界網

功能材料由於可以兼作感測器(Sensor)及致動器(Actuator)，隨著微機電系統應用的擴展，其薄膜的製作與特性掌握日趨重要。氮化鋁與矽的熱膨脹係數很接近，且與標準IC製程完全相容，其相對較大的波速，可用作高頻率濾波器，同時亦可應用於各式感測器及驅動器等，故廣為各方重視。本文將概述氮化鋁壓電薄膜的製作及特性化的方式。

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