隨著不同功能的需求，善加利用薄膜材料已成為微機電技術的主流。其中利用壓電薄膜材料所製作的致動器與感測器特別引人注目，除了它可以利用矽晶片批次的技術降低生產成本，又可以整合到積體電路中，且具有廣泛的應用，如：微型馬達、加速計及高頻共振子等。然而欲正確地設計元件時，對於所使用壓電薄膜的機械與壓電特性的全面了解是必要的。不過至目前為止，關於壓電薄膜材料的可靠量測技術研究仍然有限。本文將介紹相關議題及發展。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 氮化鋁壓電薄膜製作及特性化 薄膜體型聲波濾波器及雙工器設計 射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析 射頻微機電元件發展現況 微機電技術在射頻應用發展可期 熱門閱讀 玻璃基板上TGV的金屬化製程 玻璃成孔技術發展現況 半導體用抗反射層材料 玻璃通孔(TGV)之電鍍銅金屬化處理及其微結構改質 半導體用光酸材料技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司