壓電薄膜量測方法簡介

 

刊登日期:2003/10/5
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隨著不同功能的需求,善加利用薄膜材料已成為微機電技術的主流。其中利用壓電薄膜材料所製作的致動器與感測器特別引人注目,除了它可以利用矽晶片批次的技術降低生產成本,又可以整合到積體電路中,且具有廣泛的應用,如:微型馬達、加速計及高頻共振子等。然而欲正確地設計元件時,對於所使用壓電薄膜的機械與壓電特性的全面了解是必要的。不過至目前為止,關於壓電薄膜材料的可靠量測技術研究仍然有限。本文將介紹相關議題及發展。
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