隨著不同功能的需求，善加利用薄膜材料已成為微機電技術的主流。其中利用壓電薄膜材料所製作的致動器與感測器特別引人注目，除了它可以利用矽晶片批次的技術降低生產成本，又可以整合到積體電路中，且具有廣泛的應用，如：微型馬達、加速計及高頻共振子等。然而欲正確地設計元件時，對於所使用壓電薄膜的機械與壓電特性的全面了解是必要的。不過至目前為止，關於壓電薄膜材料的可靠量測技術研究仍然有限。本文將介紹相關議題及發展。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 氮化鋁壓電薄膜製作及特性化 薄膜體型聲波濾波器及雙工器設計 射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析 射頻微機電元件發展現況 微機電技術在射頻應用發展可期 熱門閱讀 從ICSRSM 2023看碳化矽材料領域發展(上) 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 聚焦二氧化碳再利用，推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 方全有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 誠企企業股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司