功能材料由於可以兼作感測器(Sensor)及致動器(Actuator)，隨著微機電系統應用的擴展，其薄膜的製作與特性掌握日趨重要。氮化鋁與矽的熱膨脹係數很接近，且與標準IC製程完全相容，其相對較大的波速，可用作高頻率濾波器，同時亦可應用於各式感測器及驅動器等，故廣為各方重視。本文將概述氮化鋁壓電薄膜的製作及特性化的方式。 Download檔案下載 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 薄膜體型聲波濾波器及雙工器設計 射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析 射頻微機電元件發展現況 微機電技術在射頻應用發展可期 壓電薄膜量測方法簡介 熱門閱讀 AI在化學反應優化的應用 AI在化工製程節能應用 AI於MBR系統中之品質控制與能源優化應用：以膜絲瑕疵檢測與廢水曝氣... 國際固態電路大會 ISSCC 2025：半導體發展趨勢與記憶體運算技術探討(... 《工業材料》雜誌2025年6月號推出「化工製程的節能與智慧化應用技術... 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 Hach台灣辦事處 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 廣融貿易有限公司 高柏科技股份有限公司 正越企業有限公司 工研院材化所 材料世界網 桂鼎科技股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司