單電子電晶體

 

刊登日期:2004/11/20
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單電子電晶體開創了一個嶄新的研究領域,讓我們能用一個巨觀的系統觀測並控制單一個電子的行動。雖然此一領域發展的時間相當短,但是不論在基礎研究或應用領域都有突破性的進展。因此,在這個要求體積小、消耗功率小的電子元件的時代,預期單電子電晶體將成為21世紀最重要的奈米電子元件之一。本文將介紹利用庫倫阻斷(Coulomb Blockade)及穿隧(Tunneling)等量子效應來操作單電子電晶體之基本原理,並介紹本實驗室利用符合現今超大型積體電路製程之電子束微影多層對準直寫技術、氧化製程特性,乾、濕式蝕刻方式所製作之矽基單電子電晶體。
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