矽鍺異質接面雙極性電晶體之製程技術發展：材料世界網

矽鍺異質接面雙極性電晶體隨著微波特性的改進與元件製造技術的成熟，已逐漸應用於通訊網路之射頻電路中，又因與CMOS技術間的高度整合性，而成為單一晶片系統(System-on-a-chip)的解決方案之一。本文將介紹矽鍺異質接面雙極性電晶體的基本原理，以及元件的基極與集極之設計方法；同時，針對矽鍺磊晶技術整合於矽雙極性電晶體製程中的方法與可能遭遇之問題，提出一個簡略的說明；最後討論矽鍺BiCMOS之製程技術。

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