奈米電子元件

 

刊登日期:2004/11/20
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資訊的獲取、放大、儲存、處理、傳輸、轉換、顯示等,任何一樣都離不開電子元件,微電子元件技術早已經成為人類主要經濟的命脈。至於奈米電子元件未來的發展,將以更小且更快為目標﹕「更小」是指進一步提高晶片中電子元件的積集度,「更快」是實現更高的資訊運算和處理速度。在奈米電子元件的發展中,與現有積體電路製程的相容性,已成為能否成功開發出奈米電子元件的重要因素。本文針對目前較被廣泛研究的三種奈米電子元件:奈米尺度金氧半場效電晶體(Nano-scale MOSFET)、奈米晶體非揮發性記憶體元件(Nano-crystal Nonvolatile Memory Device)及單電子電晶體(Single Electron Transistor; SET)作一簡要的敘述。
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