奈米技術的進展，使得能夠在不同材料上，以奈米甚或以原子尺度之準確度製成各種奈米結構的需求日益殷切。而各式各樣的奈米製作技術也因此相繼的被積極探討與開發，奈米壓印微影技術因其只要使用單次之微影步驟，即可在大面積的晶圓基板上，以單一模具重複進行相同奈米圖樣轉移與奈米結構之製作，而被視為是在已公開可用以製作各種奈米尺度極大型集成系統(ULSI systems) 技術中，具有低成本、高產出率的潛在優勢，於未來有亮麗前景的一種技術。其應用的範圍相當廣泛，包括奈米電子、光學元件、高密度儲存裝置、奈米電磁裝置、生物裝置、傳感器及奈米機電元件等之製作。本文將對奈米壓印微影技術的發展現狀及其所面臨的各項挑戰進行探討。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) 低溫製程奈米銅導體材料概論 軟微影製程－Soft Lithography 在室溫下可實現量子輸送之2.8nm奈米碳管電晶體 從ACIN 2013看先進複合無機奈米材料與應用(上) 熱門閱讀 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列一 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列二 磷酸鋰鐵(LiFePO4)4680電池， 昇陽已經準備好了 車用顯示面板發展趨勢 邁向全固態鋰電池：固態電解質之傳輸動力學 相關廠商 金屬3D列印服務平台 2022 Touch Taiwan 系列展 捷南企業股份有限公司 名揚翻譯有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 方全有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司