近代新興科學發展中最重要的研發為奈米科學。奈米科學不但結合基礎科學研究與應用科學研究，其研發科技更為傳統製程產業注入新興生命力，並進而創造出新興科技產業，而奈米製程即為奈米科技發展中最重要之一環。若將一般光微影製程導入奈米製程中，不但遇到曝光極限之問題，亦大幅增加製程成本；經濟成本與製程困難將間接限制奈米科技研發與應用。有鑑於此，本文將介紹具新穎性與經濟性之新微影製程－軟微影製程，期能對未來奈米科技發展與奈米產業應用有更進一步之助益。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) 低溫製程奈米銅導體材料概論 奈米壓印微影技術之機會與挑戰 在室溫下可實現量子輸送之2.8nm奈米碳管電晶體 從ACIN 2013看先進複合無機奈米材料與應用(上) 熱門閱讀 台灣高階PCB技術發展趨勢 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列一 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列二 磷酸鋰鐵(LiFePO4)4680電池， 昇陽已經準備好了 車用顯示面板發展趨勢 相關廠商 金屬3D列印服務平台 2022 Touch Taiwan 系列展 捷南企業股份有限公司 名揚翻譯有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 方全有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司