近代新興科學發展中最重要的研發為奈米科學。奈米科學不但結合基礎科學研究與應用科學研究，其研發科技更為傳統製程產業注入新興生命力，並進而創造出新興科技產業，而奈米製程即為奈米科技發展中最重要之一環。若將一般光微影製程導入奈米製程中，不但遇到曝光極限之問題，亦大幅增加製程成本；經濟成本與製程困難將間接限制奈米科技研發與應用。有鑑於此，本文將介紹具新穎性與經濟性之新微影製程－軟微影製程，期能對未來奈米科技發展與奈米產業應用有更進一步之助益。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) 低溫製程奈米銅導體材料概論 奈米壓印微影技術之機會與挑戰 原子層沉積之應用與未來發展趨勢 半導體級高穩定靜電防護鍍膜技術 熱門閱讀 原子層沉積之應用與未來發展趨勢 先進封裝技術與異質整合發展趨勢分析：以TSV、CoWoS與FOPLP為例 由2025 NEPCON Japan看低碳樹脂材料與印刷電路板製程技術與應用 由VLSI 2025 窺看半導體與AI運算技術的結合(上) 「三高一快」的高能量快速充電鋰電池技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司