近代新興科學發展中最重要的研發為奈米科學。奈米科學不但結合基礎科學研究與應用科學研究，其研發科技更為傳統製程產業注入新興生命力，並進而創造出新興科技產業，而奈米製程即為奈米科技發展中最重要之一環。若將一般光微影製程導入奈米製程中，不但遇到曝光極限之問題，亦大幅增加製程成本；經濟成本與製程困難將間接限制奈米科技研發與應用。有鑑於此，本文將介紹具新穎性與經濟性之新微影製程－軟微影製程，期能對未來奈米科技發展與奈米產業應用有更進一步之助益。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) 低溫製程奈米銅導體材料概論 奈米壓印微影技術之機會與挑戰 粒徑100 nm銅粉可望取代銀粉，成為新一代半導體接合材料 原子層沉積之應用與未來發展趨勢 熱門閱讀 功率半導體元件與散熱技術 寬能隙功率半導體封裝之結構設計與互連技術挑戰 功率半導體之高導熱陶瓷基板材料技術與應用發展 廢氫氟酸轉製冰晶石有價資源化技術 AI世代之次世代功率半導體產業發展 相關廠商 新加坡商英彼克有限公司台灣分公司 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司