近代新興科學發展中最重要的研發為奈米科學。奈米科學不但結合基礎科學研究與應用科學研究，其研發科技更為傳統製程產業注入新興生命力，並進而創造出新興科技產業，而奈米製程即為奈米科技發展中最重要之一環。若將一般光微影製程導入奈米製程中，不但遇到曝光極限之問題，亦大幅增加製程成本；經濟成本與製程困難將間接限制奈米科技研發與應用。有鑑於此，本文將介紹具新穎性與經濟性之新微影製程－軟微影製程，期能對未來奈米科技發展與奈米產業應用有更進一步之助益。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) 低溫製程奈米銅導體材料概論 奈米壓印微影技術之機會與挑戰 Toray Research Center開發出奈米級半導體材料缺陷分析技術 矽基奈米元件性能提升之鑰—SiGe應力工程(下) 熱門閱讀 玻璃基板上TGV的金屬化製程 玻璃成孔技術發展現況 半導體用抗反射層材料 玻璃通孔(TGV)之電鍍銅金屬化處理及其微結構改質 半導體用光酸材料技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司