近代新興科學發展中最重要的研發為奈米科學。奈米科學不但結合基礎科學研究與應用科學研究,其研發科技更為傳統製程產業注入新興生命力,並進而創造出新興科技產業,而奈米製程即為奈米科技發展中最重要之一環。若將一般光微影製程導入奈米製程中,不但遇到曝光極限之問題,亦大幅增加製程成本;經濟成本與製程困難將間接限制奈米科技研發與應用。有鑑於此,本文將介紹具新穎性與經濟性之新微影製程-軟微影製程,期能對未來奈米科技發展與奈米產業應用有更進一步之助益。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) 低溫製程奈米銅導體材料概論 奈米壓印微影技術之機會與挑戰 Toray Research Center開發出奈米級半導體材料缺陷分析技術 矽基奈米元件性能提升之鑰—SiGe應力工程(下) 熱門閱讀 高解析乾膜光阻材料技術 以氧化鐵材料做為正、負極之創新鈉離子電池 浸沒式冷卻液技術及特性檢測平台 鈣鈦礦太電熱塑封裝材發展趨勢 Chiplet異質整合與先進構裝材料發展趨勢 相關廠商 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司