薄膜熱傳導特性應用分析技術介紹

 

刊登日期:2008/8/1
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在可預見的未來,熱管理將是產業界一項待突破的關鍵技術。此技術包含材料開發以及相關分析技術,其中薄膜的熱傳導分析技術算是重要的關鍵技術之一。本文介紹目前文獻報導過的其中一種方法-熱行進波法。分析熱行進波經過一段已知距離後,熱傳遞波與熱源波之間的相位差,可以計算出材料熱擴散係數,再乘以密度以及比熱,可得知熱傳導係數。由此方法可以得知熱傳導係數與薄膜微結構、薄膜化學成份、薄膜厚度,甚至與基材種類,都有很密切的相關。


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