三維晶片堆疊技術之高密度去耦合電容

 

刊登日期:2008/2/5
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3D IC 堆疊技術是下世代半導體製程的重點技術之一。因應多層IC 堆疊的高頻去雜訊以及穩壓需求,需要晶片內埋高密度去耦合電容來達成。本文針對矽基材內埋高密度去耦合電容的製程技術與元件特性做一介紹。


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