雙粒子束聚焦式離子束(DB-FIB)技術在材料檢測分析上之應用與發展

 

刊登日期:2007/12/5
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隨著奈米科技之進展,雙粒子束聚焦式離子束(DB-FIB)在材料分析檢測上,逐漸佔有關鍵性之角色。藉由優異的E-beam 解析度及強大的I-beam 蝕刻能力,可將奈米尺度材料樣品現形而易於分析檢測。本文將著重以工研院材化所建置之DB-FIB,說明在CNT、奈米材料、鋰電池材料、掃描式探針及TEM試片製作,以及奈米結構製作等技術在光學檢測方面之應用與發展。


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