JX金屬開發TGV用銅漿料,佈局次世代封裝

 

刊登日期:2026/3/12
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日本JX金屬開發了一項適用於次世代半導體封裝之玻璃通孔(TGV)用銅漿料。此項技術可將銅漿料直接填充至導通孔(Via)內,與既有電解鍍銅相比,製程時間可縮短至約5分之1。此外,在化學機械研磨(CMP)製程中,可大幅降低對基板的研磨負荷,因而有助於降低玻璃基板產生裂紋等風險。
 
目前銅電鍍技術被視為TGV實用化的主流方案之一,但此項技術仍存有製程時間冗長、導通孔內易產生裂縫(Crack)等課題。相較之下,新開發的TGV用銅漿料可有效解決上述問題。TGV用銅漿料為JX金屬與集團旗下的TATSUTA Electric Wire & Cable共同開發。目前TATSUTA Electric Wire & Cable的銅漿料已在印刷電路板孔填充用途具有量產實績,此次透過將JX金屬的燒結型銅微粉與使用於形成種子層(Seed Layer)的銅濺鍍靶材相結合,成功實現符合TGV應用需求的品質與可靠性。
 
在以電解鍍銅進行導通孔填孔的製程中,金屬不僅會沉積於孔內,也會覆蓋玻璃基板的平坦表面,導致後段CMP製程須額外去除表面金屬層。相對地,銅漿料僅填充於導通孔內部,可顯著縮短研磨時間,並進一步降低對玻璃基板的機械與熱負荷。目前已有多家企業展開應用評估,JX金屬將持續推動低電阻化等性能提升,期於2026年度內實現產品化的目標。

資料來源: https://chemicaldaily.com/archives/759303
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