在2吋多晶鑽石基板上實現GaN-HEMT製作

 

刊登日期:2025/4/9
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日本住友電氣工業與大阪公立大學合作,在科學技術振興機構(JST)的共同研究項目中,成功地在2吋的多晶鑽石(Polycrystalline Diamond; PCD)基板上製作了氮化鎵高電子遷移率電晶體(GaN-HEMT)。此項技術將可望促進移動通訊、衛星通訊領域的核心設備實現大容量化與低功耗化。

做為高頻電子元件的GaN-HEMT對於進一步提升高頻特性與高輸出功率有其需求。然而,GaN-HEMT運行時產生的自發熱會限制其輸出功率,進而影響通訊性能與設備的可靠性。為了解決此一問題,大阪公立大學利用具有極高熱傳導率的鑽石做為GaN-HEMT的基板,藉此提升散熱性能。鑽石的熱傳導率約為一般GaN-HEMT基板所使用之矽材(Si)的12倍,碳化矽(SiC)的4至6倍。若使用鑽石做為基板,可將熱阻分別降低至矽的4分之1、碳化矽的2分之1。

然而,過去受限於多晶鑽石的粒徑較大且表面粗糙度(約5~6 nm)不佳,因此若不使用焊料或其他接合材料,將難以與氮化鎵(GaN)層直接接合。此次研究中,住友電氣工業透過自有的鑽石基板研磨技術,將表面粗糙度降低至過往數值的一半,顯著改善了基板的平整度。此外,結合大阪公立大學的技術,成功將GaN層從矽基板轉移至多晶鑽石基板,並在2吋的多晶鑽石基板上直接接合GaN層。

此次研究成功證實了在多晶鑽石基板上建構GaN結構的可行性,並確保了良好的散熱均一性。今後研究團隊將致力於開發4吋基板,並進一步提升元件性能、接合狀態的調整,期實現量產化之目標。


資料來源: https://sumitomoelectric.com/jp/press/2025/03/prs029
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