Toyo Aluminium推出12吋SiGe基板

 

刊登日期:2025/2/12
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日本Toyo Aluminium積極推動以新工法製造矽鍺半導體(SiGe)基板的大型化,近來發表開發出300 mm(12吋)晶圓。
 
新工法由Toyo Aluminium與大阪大學、名古屋大學共同開發而成,係以Toyo Aluminium開發的鋁鍺合金漿料在矽基板上進行網版印刷,並經過熱處理後形成SiGe混晶層。透過將表面沉積的鋁殘留物進行化學處理(蝕刻),可以形成厚度約10 μm的SiGe薄膜混晶層。藉由印刷製程可實現大面積化,因此可製造2吋(50 mm)~12吋晶圓的基板。由於不需要真空設備,因此預期可以降低製造成本。
 
Toyo Aluminium也以網版印刷製成的12吋晶圓製作了SiGe/Si二極體元件,並確認可製作出400 μm圖案(約23萬個晶片)、300 μm圖案(約35萬個晶片)、200 μm圖案(約57萬個晶片)及100 μm圖案(約113萬個晶片)。Toyo Aluminium計畫在2025年度內達到產品商業化的目標。

資料來源: https://chemicaldaily.com/archives/580014
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