隨著奈米科技快速地進步,奈米材料與各式奈米元件對高空間解析之微結構顯微技術之需求日益增強。瞭解奈米材料特性與奈米微結構與化學特性之間的關係,有助於奈米科技之發展。本文將介紹工研院材料與化工研究所於奈米中心檢測實驗室所建置之場發射穿透式電子顯微鏡(JEOL JEM-2100F),與雙粒子束聚焦式離子顯微切割儀(FEI NanoLab Nova 200)在奈米材料、相變化記憶體與顯示器元件檢測應用實例。本文所發展之先進DB-FIB/FE-TEM整合檢測技術在奈米材料、相變化記憶體與顯示器元件開發將扮演重要之角色。