工業技術研究院工業材料研究所於2004 年元月在奈米中心檢測實驗室所建置之JEOL JEM-2100F場發射穿透式電子顯微鏡是新一代最新型之200kV電鏡，為台灣第一部該型電鏡。此電鏡為目前日本電子株式會社所推出之最新型機種，裝配有多項高功能之先進檢測設備。本儀器包含原子解析率(0.19nm)之影像分析能力，配備有OXFORD 公司之X 射線能量散佈分析儀(EDS)、GATAN公司之電子能量損失譜儀(EELS)，並附有高角度環狀偵測器(High-Angle AnnularDetector)之掃瞄影像觀測元件(Scanning Image Observation Device)、數位掃瞄影像擷取系統(Digiscan Image quisition System)，屬於全方位之分析型高解析電子顯微鏡。本文將介紹這部精密電鏡之各項先進檢測功能，以及在工研院相關計畫之檢測成果。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 材料奈米檢測技術規畫與發展 操控奈米世界的眼睛及手指─奈米平台技術 奈米技術發展現況 OES技術於電漿製程監測之應用 掃描探針顯微鏡於軟物質與半導體之應用 熱門閱讀 玻璃基板上TGV的金屬化製程 玻璃成孔技術發展現況 半導體用抗反射層材料 玻璃通孔(TGV)之電鍍銅金屬化處理及其微結構改質 半導體用光酸材料技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 高柏科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 廣融貿易有限公司 正越企業有限公司 山衛科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司