銅導線低介電係數晶片銲線製程與拔線測試之動態模擬分析：材料世界網

本文使用顯式時間積分之有限元素分析，探討銅導線低介電係數晶片在銲線製程，與拔線測試時的暫態結構反應。此動態分析涵蓋完整銲線製程的撞擊與超音波振動兩階段，因此銲線後的拔線測試模擬得以包含銲線製程中所引致的結構殘餘應力及應變。

Download檔案下載加入會員

銅導線低介電係數晶片銲線製程與拔線測試之動態模擬分析