淺談微型一氧化碳感測元件技術發展

 

刊登日期:2005/11/5
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隨著國家經濟社會不斷的進展,多數人對生活品質的要求也隨之提高,無論是在公共環境、居家安全或個人健康上,安全、環保與健康等議題愈來愈受到重視。感測器對公共與居家環境的安全監控更是不可或缺的關鍵零組件。一氧化碳中毒事件在台灣幾乎是每年必發生的居家安全意外事故,目前一氧化碳感測元件應用市場仍以工業及家庭安全監控為主。隨著產品多功能、低耗電化與體積微小化的發展趨勢,藉由在MEMS結構上製作工作溫度較低的感測材料,同時配合脈衝式的電壓驅動方式,並整合周邊電路於感測元件,形成所謂的系統單晶片(System-on-Chip; SoC),或許是達到高品質低價化產品的途徑之一,有機會整合於消費性電子產品中。本文將對可攜式氣體感測器裝置產品的積體化與低耗能化之設計與製作做一簡介,提供大家參考。
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