有機高分子材料在半導體低介電薄膜上的應用簡介

 

刊登日期:2005/2/5
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近年來,台灣半導體產業在政府大力推動與相關業者積極配合之下成長迅速,也帶動其它相關產業的蓬勃發展,每年為國家創造上兆元的產值。隨著半導體技術的不斷成長,在元件線幅之持續微型化,以及元件集積度不斷增加下,導致RC延遲情形越形嚴重,使得低介電材料的應用在半導體產業上也越來越廣泛與重要。因此,本文乃就一些常被應用來作為低介電材料(Low-κ Materials)之有機高分子材料及其相關特性,作一簡單介紹。
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