新開發之耐熱COP等高機能材料

 

刊登日期:2015/10/8
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日本ZEON公司針對電子產業密集的台灣市場開發幾款高機能電子材料。

首先在平面顯示器或印刷電路板領域方面,以透明性、撥水性、電性佳的COP (cyclo-olefin polymers,環烯烴聚合物)為基礎,開發出抗UV、不須接著劑即能緊密貼合玻璃或金屬等無機物質的全新材料。此外也推出RF特性優異、具備可耐熱攝氏265度、高絕緣性之新材料,最適於新世代高速印刷電路板需求。

至於半導體製造用光罩領域方面,則是將電子束微影光阻劑解析度提升到19奈米之水準,對於乾蝕刻之耐受力強為其一大特徵,適用於砷化鎵高電子移動率電晶體(HEMT)等化合物半導體。

除此之外,研究團隊也開發出邏輯半導體低誘電率層間絕緣膜用、選擇性提高之蝕刻氣體(C5HF7),可改良電晶體之可靠度。該公司以上述之廣泛產品為訴求,力求擴大電子材料事業規模。

資料來源:化學工業日報/材料世界網編譯


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