電性掃描探針顯微鏡

刊登日期:2003/5/20
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電性掃描探針顯微鏡(包括掃描電容顯微鏡與掃描電流顯微鏡)為分析微小區域電性特性的重要工具之一,藉由導電探針直接於試片上進行掃描,可以獲得奈米區域的載子濃度分布、界面缺陷、鐵電材料極化現象、漏電流行為等相關訊息。本文介紹電性掃描探針顯微鏡的基本架構、原理,以及國家奈米元件實驗室目前的研究成果。
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