晶片元件薄膜成型技術簡介

刊登日期:1996/12/5
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目前國內外厚膜晶片元件已進入市場規模的經濟生產期,而薄膜晶片元件正從技術研發與市場開拓階段邁入小量高利潤的初期市場。元件小型化後,尤其經過諸多的處理流程之後,如何使元件在長期使用中保持優異的功能穩定性,是未來元件產出後所需面對的嚴重挑戰,除了材料的選擇、保護層的運用外,薄膜介面處理技術的使用,以產生抗氧化可抑制擴散的介面,也是一個非常重要的方法。
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