電弧離子鍍膜技術之概述

刊登日期:1996/12/5
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一般而言,真空鍍膜大致上可分為兩大類:物理氣相蒸著(Physical Vapor Deposition ,簡稱PVD )及化學氣相蒸著(Chemical Vapor Deposition ,簡稱CVD )。本文將針對PVD 法中,目前正熱門的電弧離子鍍膜技術(Arc Ion Plating)做一探討。
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